00001. ?粒徑范圍?
· 需覆蓋0.1μm~10μm的顆粒檢測,半導(dǎo)體/醫(yī)藥行業(yè)需重點關(guān)注0.3μm~5μm的敏感粒徑。
· 激光粒子計數(shù)器(如0.1μm分辨率)適用于高精度場景,光散射法傳感器適合成本敏感型應(yīng)用。
00002. ?流量選擇?
· 大流量(28.3L/min)適用于快速掃描,小流量(2.83L/min)適合高精度區(qū)域監(jiān)測。
00003. ?合規(guī)性?
· 設(shè)備需符合ISO 14644-1、GMP等標準,校準需遵循JJF1190-2008規(guī)范。
· ?硬件組成?
· 粒子計數(shù)器(多測點布局)、浮游菌采樣器(制藥行業(yè))、溫濕度傳感器。
· 數(shù)據(jù)采集模塊支持Modbus/RS485協(xié)議,實現(xiàn)設(shè)備互聯(lián)。
· ?軟件功能?
· 動態(tài)閾值預(yù)警(如ISO 5級超標自動報警)、數(shù)據(jù)可視化看板、歷史趨勢分析。
· 支持與FFU風(fēng)機、HVAC系統(tǒng)聯(lián)動,實現(xiàn)凈化強度自動調(diào)節(jié)。
行業(yè) | 核心需求 | 典型配置 |
半導(dǎo)體 | 0.1μm顆粒控制,防電路短路 | 激光粒子計數(shù)器+多測點布局 |
制藥 | 微生物關(guān)聯(lián)監(jiān)測,符合GMP動態(tài)要求 | 浮游菌采樣器+粒子計數(shù)器組合 |
電子裝配 | 成本敏感,中等潔凈度 | 光散射法傳感器+局部監(jiān)測 |
00001. ?測點布置?
· 層流室≥20個測點,亂流室每50㎡設(shè)5個,高度1m(參考ISO 14644-2)。
00002. ?狀態(tài)區(qū)分?
· 動態(tài)檢測數(shù)據(jù)(生產(chǎn)狀態(tài)下)比空態(tài)/靜態(tài)更具實際參考價值。
00003. ?維護校準?
· 每6個月校準激光光源,定期清潔采樣口避免堵塞。
· ?數(shù)據(jù)存儲與分析?
· 采用云端存儲技術(shù),確保數(shù)據(jù)的安全性和可追溯性。
· 通過高級分析工具,識別顆粒物來源和趨勢,優(yōu)化管控策略。
· ?擴展功能?
· 集成AI算法,預(yù)測潛在污染事件,提前采取預(yù)防措施。
· 支持移動端訪問,實現(xiàn)遠程監(jiān)控和管理。